流量計(jì)的壓力傳感器是目前應(yīng)用廣泛的一種傳感器。傳統(tǒng)的壓力傳感器以機(jī)械結(jié)構(gòu)型的器件為主,利用壓電效應(yīng)把彈性體的形變轉(zhuǎn)換成對應(yīng)壓力的大小。隨著半導(dǎo)體技術(shù)和MEMS技術(shù)的發(fā)展,壓力傳感器性能得到大幅提高，不僅體積小、質(zhì)量輕、功耗小，而且精度、穩(wěn)定性、可靠性更高，這也大大擴(kuò)展了它的應(yīng)用市場。高溫壓力傳感器主要是為了解決高溫環(huán)境下各種氣體、液體壓力的測量，廣泛用于鍋爐、管道、高溫反應(yīng)容器內(nèi)的壓力、井下壓力和各種發(fā)動機(jī)腔體內(nèi)的壓力、高溫油品液位與檢測、油井測壓等領(lǐng)域壓力的測量。這些領(lǐng)域中傳感器都處于高溫環(huán)境條件下工作，使得傳感器的放大電路工作很容易失效，這也是高溫壓力傳感器設(shè)計(jì)的難點(diǎn)。理想的解決辦法就是將傳感器件與放大電路相分離，其中傳感器件由MEMS工藝來實(shí)現(xiàn),信號激勵與信號處理由計(jì)算機(jī)來完成。

　　現(xiàn)在研究比較多的高溫壓力傳感器主要有SOS、SOI、SiO2、Poly2Si等半導(dǎo)體傳感器,還有濺射合金薄膜高溫壓力傳感器、高溫光纖壓力傳感器和高溫電容式壓力傳感器等。與傳統(tǒng)的壓阻式壓力傳感器相比，半導(dǎo)體電容式壓力傳感器具有靈敏度高、溫度穩(wěn)定性好、功耗小等優(yōu)點(diǎn),而且流量計(jì)只對壓力敏感,對應(yīng)力不敏感,所以,電容式壓力傳感器在許多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。